| 晶圆制造与处理 | 光刻与刻蚀区清洁 | 生产设备腔体与部件清洁 | 封装与测试区维护 | 洁净室环境控制 | |
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| 应用 场景 |
● 晶圆传送盒、卡匣、机械臂等部件擦拭 ● 去除晶圆边缘和背面附着的微小颗粒 ● 工艺腔体日常维护或切换后残留物擦拭去除 |
● 光掩模版清洁与日常维护 ● 光刻机、涂胶显影设备、刻蚀机等关键设备外部及周边区域清洁 ● 擦拭意外溅洒的化学品 |
● 真空腔体、溅射靶材、离子注入源等核心部件定期擦拭清洁 ● 清除设备内壁、挡板等处沉积的工艺副产物 ● 设备预防性维护或维修保养中零部件细致清洁 |
● 引线键合机、固晶机、塑封模具等封装设备清洁 ● 测试探针和测试插座精密清洁 ● 封装和测试区域台面、工具和辅助设备擦拭 |
● 擦拭洁净室墙面、高架地板、天花板FFU格栅、工作台 ● 清除过滤器格栅和回风口积尘 ● 处理ISO Class 3-5级洁净室内液体溢出和日常清洁 |