作者：Rocco@picowipe.com——以深度为舟，渡专业之河
国内通常采用美国联邦标准 FED-STD-209E 划分洁净室等级，此标准在国际上已广泛被 ISO 14644-1 洁净室等级标准取代。按照 FED-STD-209E 标准，百级洁净室指每立方英尺空气中 ≥0.5µm 的粒子数不超过100个。按照 ISO 14644-1 标准则严格的多，百级对应ISO Class 5级，增加了小于 0.5μm 粒子数的要求。
美国联邦标准 FED-STD-209E 洁净室等级划分
该标准以英制单位为基础，等级命名与每立方英尺空气中 ≥0.5µm 粒子的数量直接相关。例如，Class 100 表示每立方英尺空气中 ≥0.5µm 的粒子数不超过 100 个。
单位：每立方英尺空气中≥所示粒子直径最大允许粒子数目 (颗/ft³)
| 洁净室等级 | ≥ 0.1 µm | ≥ 0.2 µm | ≥ 0.3 µm | ≥ 0.5 µm | ≥ 5 µm | 对应 ISO 等级 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Class 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ISO Class 3 | |
| Class 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | ISO Class 4 | |
| Class 100 | 100 | ISO Class 5 | ||||
| Class 1,000 | 1,000 | 7 | ISO Class 6 | |||
| Class 10,000 | 10,000 | 70 | ISO Class 7 | |||
| Class 100,000 | 100,000 | 700 | ISO Class 8 |
ISO 14644-1 洁净室等级划分
作为当前国际通用标准，ISO 14644-1 根据空气中悬浮粒子浓度对洁净室及受控环境的空气洁净度进行分级。
单位：每立方米空气中≥所示粒子直径的最大允许粒子数目 (颗/m³)
| 洁净室等级 | ≥ 0.1 µm | ≥ 0.2 µm | ≥ 0.3 µm | ≥ 0.5 µm | ≥ 1 µm | ≥ 5 µm | 对应 FED-STD-209E 等级 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ISO Class 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO Class 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Class 1 | |
| ISO Class 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | Class 10 | |
| ISO Class 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | Class 100 |
| ISO Class 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | Class 1,000 |
| ISO Class 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | Class 10,000 | |||
| ISO Class 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Class 100,000 | |||
| ISO Class 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | 室内空气 |
