作者：Rocco@picowipe.com——以深度为舟，渡专业之河
一、无尘布清洁度检测
无尘布主要用于洁净室环境，清洁度检测关键指标包括 颗粒物残留、离子污染、NVR（非挥发性残留物） 等。
| 检测项目 | 测试标准 | 方法要点 |
|---|---|---|
| 颗粒物释放 | IEST-RP-CC004.4 | 使用 液体颗粒计数器（LPC） 或 空气颗粒计数器（APC） 测量无尘布在超声波清洗或抖动后的颗粒释放量 |
| 离子污染 | IEST-RP-CC004.4 | 将无尘布浸入 超纯水（18.2MΩ·cm），用 离子色谱仪（IC） 检测Na⁺、Cl⁻等离子含量 |
| NVR（非挥发性残留） | IEST-RP-CC004.4 | 无尘布用溶剂（如异丙醇）萃取后蒸发，称量残留物重量 |
| 纤维脱落 | ISO 9073-10 或 IEST-RP-CC004.4 | 显微镜观察或重量法测定摩擦后的纤维脱落量 |
| 吸液速率 | EDANA ERT 10.2 | 记录无尘布完全吸收1mL液体的时间（通常≤5秒） |
关键注意事项：
采样方法：检测前需在 洁净室（ISO Class 4~5） 中操作，避免环境污染。 溶剂选择：NVR测试需使用 高纯度溶剂（HPLC级）。 样品处理：检测前无尘布需密封保存，避免预污染。
二、防静电无尘布TDS报告检测
TDS（Technical DataSheet）是供应商提供的技术数据表，需验证其真实性。检测重点包括 防静电性能、材质成分、洁净度 等。
TDS核心检测项目：
| 检测项目 | 测试标准 | 方法要点 | 典型要求 |
|---|---|---|---|
| 表面电阻/电阻率 | ANSI/ESD STM11.11 | 使用 表面电阻测试仪（如Hiresta）测量，电极间距10mm，施加100V电压 | 10⁶~10⁹Ω/sq（防静电级） |
| 摩擦电压 | ANSI/ESD STM97.2 | 用 静电电压表 检测无尘布摩擦后的静电压（通常要求≤100V） | ≤100V（低静电生成） |
| 材质成分 | FTIR或DSC分析 | 红外光谱（FTIR）或差示扫描量热法（DSC）验证聚酯、尼龙等成分是否与TDS一致 | 符合供应商声明 |
| 洁净度 | 同前述清洁度检测 | 检测颗粒、离子、NVR等指标 | 符合TDS声明 |
| 耐磨性 | ASTM D4966 | 马丁代尔耐磨仪测试摩擦后的性能变化 | 电阻变化≤1个数量级 |
TDS报告验证要点：
数据一致性：对比实测数据与TDS声明的偏差（如电阻值±10%内可接受）。 测试条件：确认TDS中的测试环境（如湿度50%±5%）与实验室一致。 认证标志：检查是否标明 ESD认证（如ESDA认证）、洁净室等级（ISO Class X）。
三、检测仪器
| 检测项目 | 推荐仪器 | 品牌示例 |
|---|---|---|
| 颗粒物计数 | 液体颗粒计数器（LPC） | Particle Measuring Systems |
| 离子污染 | 离子色谱仪（IC） | Thermo Scientific Dionex |
| 表面电阻 | 高阻计/表面电阻测试仪 | Keysight、Hiresta |
| 静电电压 | 静电电压表 | Trek、Simco |
| 材质分析 | 傅里叶红外光谱仪（FTIR） | PerkinElmer、Bruker |
四、注意事项
防静电性能： 检测前需在 可控湿度环境（50%±5% RH）中平衡24小时。 洁净度： 无尘布开封后需在 洁净工作台 中操作，避免人为污染。 TDS真实性： 要求供应商提供 第三方检测报告（如INTERTEK）。
五、常见问题
Q：无尘布清洁度不合格如何处理？ A：增加超声波清洗次数或更换低残留溶剂（如电子级异丙醇）。
Q：防静电无尘布电阻超标？ A：检查环境湿度（低湿度会升高电阻），或确认是否添加了失效的防静电剂。
